На рис. 1 представлены профиль и топология КМОП (КМДП) транзисторов.
Рис. 1.  Профиль и топология КМДП-транзисторов
Эквивалентная схема МОП транзистора, соответствующая моделям МОП-транзисторов, используемым во многих программах анализа электронных схем, представлена на рис. 1.
Рис. 2.  Модель МОП-транзистора, используемая в программе Spice
Модель характеризуется следующими параметрами:
Вычисление BETA осуществляется по величине сопротивления канала транзистора на начальном участке выходных характеристик. Несложно показать, что коэффициент BETA для крутого участка ВАХ вычисляется по формуле:
BETA = ,
где RON — выходное статическое сопротивление транзистора на начальном (крутом) участке характеристик (Ом);
• Vgs — напряжение затвор-исток;
• Id — ток стока.
Параметр Lambda определяет линейное нарастание BETA с ростом Vdsза счет модуляции длины канала.
Эквивалентная схема рис. 1 является базовой для моделей шести уровней, различающихся учетом тех или иных эффектов. Модель уровня 1 (LEVEL1) наиболее проста и используется, если не требуется высокая точность расчетов. Модель уровня 2, наоборот, довольно сложная и характеризуется большим числом трудно определяемых параметров. Широко известны физические модели BSIM3 и BSIM4 (аббревиатура BSIM есть сокращение фразы Berkeley short–channel IGFET model, где IGFET - insulated-gate field-effect transistor, т.е BSIM - модель МОП-транзистора с изолированным затвором и коротким каналом, разработанная в Беркли).